中圖儀器SuperViewW國產3D光學輪廓儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙
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