光氧等離子一體機的主要工作原理是當(dāng)廢氣進(jìn)入等內(nèi)時，先經(jīng)等離子光氧一體機過等離子體化學(xué)反應(yīng)過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。（在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿尤镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以分解