海寧半導(dǎo)體實驗室裝修、千級超凈間建設(shè)工程及方案-SAREN三仁

發(fā)布時間：2020-03-25

隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求，工業(yè)裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是5G熱潮襲來、半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級的擴大和控制微粒粒徑日益嚴格的重要標志。 千級凈化車間的應(yīng)用較為廣泛，在醫(yī)院手術(shù)室、機械電子等行業(yè)的裝修設(shè)計中潔常有使用。千級潔凈室指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個以內(nèi)，同時為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染，在室內(nèi)壓差上也有所要求，通常要求內(nèi)部壓力（靜壓）＞外部壓力（靜壓）；潔凈度要求高的空間壓力＞潔凈度要求低的空間壓力；潔凈室門的朝向應(yīng)開向潔凈度級別高的房間。更多的千級凈化車間裝修設(shè)計標準和一般做法詳見下文  一、千級凈化車間的裝修設(shè)計標準 1. 千級凈化車間的建筑通常劃分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種，其中裝配式更為普遍，主要包括由初級、中級、高級空氣過濾器構(gòu)成的空調(diào)送回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)及其他配套系統(tǒng)。 2. 千級凈化車間的室內(nèi)空氣參數(shù)設(shè)置要求： 溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5％。 新風(fēng)量：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30％；補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。 送風(fēng)量：要滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。 千級凈化車間的一般做法 關(guān)于千級凈化車間的一般做法，三仁將以電路板千級凈化車間的三種設(shè)計方案來比較分析。此處案例為蘇州一個美資柔性電路板EPC總承包項目中的一個典型工藝房間，溫濕度要求在（21±2）℃，濕度控制在（55±10）%。 1. 方案一：AHU（空調(diào)機組）+HEPA 2. 方案二：MAU（新風(fēng)機組）+RAU（循環(huán)機組）+HEPA 3. 方案三：AHU（空調(diào)機組）+FFU（風(fēng)機過濾單元） 對比三種方案發(fā)現(xiàn)三種方案造價差異不大，但方案三由于使用了大量循環(huán)風(fēng)且只經(jīng)過一次過濾，在運行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。因此在市場上，千級凈化車間隨著FFU價格的降低，越來越受到設(shè)計師和建設(shè)方的喜愛。

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