爐體溫控控制在900到1300℃，溫度高精度可控，VB具有晶體和加熱爐體分別單獨升降；HB水平高精度移動等控制，運動速度0.01--50mm/小時可調，有效完成砷化鎵晶體生長。
爐體溫控控制在900到1300℃，運動速度0.01--50mm/小時可調，使晶棒內部晶體重新排列。特點：爐體冷區(qū)和熱區(qū)之間采用獨特設計，可以達到15℃/cm的溫度梯度。
LPE液相外延爐采用進口穩(wěn)定可靠的智能儀表，能夠實現整個工藝過程的自動控溫。以進口直線電機為主體，系統(tǒng)定位且無抖動，加速度大能快速啟動，可快速精準的將生長材料移動至下一個生長點。
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